ALS Technology Co., Ltd.

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手套箱Sagami


以合理价格提供满足期待的高性能与高功能!
sagami

产品特点
●价格实惠
通过大幅设计变更实现成本降低

●全新开发的紧凑型气体循环精制器
①催化剂再生功能(铜催化剂)
②箱体内部环境
氧气浓度≤5PPM/露点≤5PPM(-64°C以下)
再生时复杂的阀门切换由PLC自动控制

●氮气安全性保障
①氮气泄漏时自动关闭主阀门
②箱体内部氮气压力自动控制(APC)

●降低运行成本
精制剂更换可由客户自行操作
●前面板内侧采用特殊涂层

提升耐溶剂性,实现防静电功能
●扩展性
可连接本公司真空镀膜设备
符合下述尺寸时亦可连接他厂真空设备
(基板输送平台1242mm×法兰Φ265mm)

●可选配件
VOC(挥发性有机化合物)传感器等

基本规格

  2号手套尺寸 气体循环精制型手套箱
尺寸 尺寸
材质
前窗(单面)
前室
手套箱
内部100V电源插座
宽780mm×深650mm×高1707mm(不含突出物)
SUS304不锈钢
聚碳酸酯树脂
尺寸 内径Φ254mm×长度293mm
Φ8英寸规格×2个、丁腈橡胶制
为客户设备供电
微量浓度计 氧气浓度计1套
水分浓度计1套
VOC浓度计
5PPM以下
5PPM以下(露点约-64°C以下)
可选配件(可在惰性气体环境中使用)
精制机构 气体循环式
氧气去除专用精制剂
水分、溶剂去除专用精制剂控制
鼓风机强制循环
铜催化剂
多孔质过滤器
PLC自动控制
气体安全设计 内部压力自动控制
氮气泄漏检测装置
PLC自动控制
检测气体流量并停止氮气导入
操作 触摸屏输入与显示 精制剂再生操作
浓度显示
联锁状态显示 等
用电 电力200V单相/100V
压缩空气
氮气
混合气体(含3~5%氢气)
(100V为客户设备专用)
阀门操作用
气体循环用
铜催化剂再生用

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