株式会社エイエルエステクノロジー

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LEIPS選べる3タイプ


高精度LUMO準位測定、伝導帯DOS評価に!

低エネルギー逆光電子分光装置LEIPS LE-1シリーズ
有機材料の損傷ない高精度LUMO準位(電子親和力)測定を初めて実現!
さらに無機半導体、高分子材料などへ活躍の場を拡げています。

LEIPS


ご予算・目的により選べる構成
3タイプよりご予算・目的により選べる構成になっています。


名称 IE-1 Complete IE-1 Basic IE-1 element
形状
構成 3室(計測室、バッファー室、ロードロック室) 2室(計測室、ロードロック室) 1室(計測室)
内容 試料4枚ストックバッファー室による効率的な計測。真空封止キャリアBOX装備。 シンプル構成。真空封止キャリアBOX装備。 個別の真空システムにドッキングしてご使用いただきます。
構成構成
 

特長
●計測エネルギー分解能 0.5eV以下
●簡単操作(計測&エネルギー評価)を実現するLEIPSソフト搭載
●専用電子銃と専用活性化工程により安定した低エネルギー電子放出を実現。
●測定点磁場ゼロ調機構。
●各種システムとのドッキングが容易な基板ホルダー搬送機構
●付属キャリアBOXにより大気暴露なしで基板着脱可能。
●多彩なオプション:高精度基板傾斜機構、蒸着機構etc

エネルギーダイヤグラムエネルギーダイヤグラム評価
 

複合システム化 標準対応 エネルギーダイヤグラム評価
光電子分光装置(XPS,UPS)、PYS(光電子収量分光法)装置等とドッキング実績あります。
●イオン化エネルギー Ev
●ェルミ準位     Ef
●バンドギャップ   EG
※株式会社東京インスツルメンツ様との協業によるPYS装置との複合装置提案可能です。

お問い合わせ


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