グローブボックスSagami
期待に応える高性能・高機能をリーズナブルプライスで！
特長
●リーズナブルプライス
大きく設計変更をしてコストダウンを実現
●新規開発のコンパクトなガス循環精製器
①触媒の再生機能（銅触媒）
②ボックス内の環境
酸素濃度≦5PPM/露点≦5PPM(-64°C以下）
再生時の複雑なバルブ切り替えはPLC自動制御
●N2ガスに対する安全性
①万が一のN2ガス漏れに対して元栓を自動遮断
②ボックス内部のN2圧力は自動で制御（APC）
●ランニングコストの低減
精製剤の交換はお客様ご自身で可能
●前面樹脂パネル内側は特殊コーティング
耐溶剤性向上、静電防止を実現
●拡張性
当社の真空蒸着装置に接続可能
下記寸法にあえば他社製の真空装置にも接続可能
（基板搬送レベル1242mm×フランジΦ265mm）
●オプション
VOC（揮発性有機化合物）センサー等
基本仕様
| 2グローブサイズ | ガス循環精製型グローブボックス | ||
| 寸法 | 寸法 材質 前面ウィンドウ（片面） アンテチャンバー グローブ 内部100Vコンセント |
W780mm×D650mm×H1707mm(突起物含まず) SUS304 ポリカーボネート樹脂 サイズ 内径Φ254mmx長さ293mm Φ8インチ規格×2個、ブテルゴム製 お客様機器に電源供給 |
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| 微量濃計 | 酸素濃度計1式 水分濃度1式 VOC濃度計 |
5PPM以下 5PPM以下(露点約-64°C以下) オプション(不活性ガス雰囲気にて使用可能) |
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| 精製機構 | ガス循環式 酸素除去用の精製剤 水分、溶剤除去用の精製剤制御 |
ブロワーによる強制循環 銅触媒 多孔質フィルター PLCによる自動制御 |
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| ガス安全設計 | 内部圧力自動制御 N2ガス漏れ検出機構 |
PLCによる自動制御 ガス流量を検知しN2導入停止 |
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| 操作 | タッチパネル入力・表示 | 精製剤の再生操作 濃度表示 インターロック表示 等 |
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| 用力 | 電力200V単相／100V 圧縮空気 N2ガス Mixガス（3〜5％水素） |
(100Vはお客様機器用) バルブ操作用 ガス循環用 銅触媒の再生用 |
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お問い合わせ
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