真空装置事業

蒸着装置シリーズE-200
E-200シリーズは、多くの組み合わせが可能。 搬送系は、停止位置精度の高い自社製のラック＆ピニオン搬送系を使用しています。

有機蒸着装置
有機関係トータルソリューションを目指しています。

昇華精製装置P-100
（石英管径φ33、φ45仕様）
完全ドライの排気系
緩やかな傾斜を持つ特殊設計のヒーター機構
温度傾斜のモニターが常時可能
精製状態の観察が可能

お役立ち商品

キャリアボックス
キャリアボックスとはグローブボックス内にて基板を同ボックス内に入れ、グローブボックスから取り出し移動を可能としたものです。

計測チャンバー
真空中にデバイスを入れて光の出し入れが可能
お客様のご希望仕様に合わせて製作可能です。

スパッタリング装置


弊社ではスタンドアローン装置から蒸着機接続のマルチチャンバー装置まで種々の構造のスパッタリング装置を製造販売しております。

真空プロパー
真空環境内にてプローバー針を精密移動させてデバイス特性を測定するために使用します。
キャリアボックスと組み合わせることにより製膜完了後の基板を空気にさらすことなく測定することが可能になります。

汎用、高温加熱機構
真空環境内にてプローバー針を精密移動させてデバイス特性を測定するために使用します。
キャリアボックスと組み合わせることにより製膜完了後の基板を空気にさらすことなく測定することが可能になります。

仕様

項目	内容	備考
加熱温度	～600℃	温度モニター値
有効加熱範囲	約40mm×40mm
ヒータ材料	タングステン	石英板シールド付き
ヒータ容量	20V,20A	500℃時約10V-11A
温度モニター	K type thermocouple　K熱電対	種類変更可能
使用環境	真空（7×10-2Pa以下）
オプション	～900℃ 仕様　／　各種サセプタ　／　基板トレー　etc
寸法図

お問い合わせ

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